УНЭ «Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии»
Руководитель
Павел Андреевич Юнин (к.238)
Методическое пособие
Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии
Краткое описание работы
Лабораторная работа посвящена исследованию морфологии реальных поверхностей. В рамках работы проводится измерение параметров шероховатости поверхностей полупроводниковых структур различной степени обработки. В качестве методов анализа используются оптическая интерференционная микроскопия белого света и контактная профилометрия. Оба метода позволяют получить прямую информацию о распределении высот точек поверхности. Для характеризации шероховатости поверхностей используется статистическое и фрактальное описание. Проводится сравнение двух экспериментальных методов исследования морфологии поверхности и двух подходов к описанию шероховатости.
Список оборудования
- Оптическая интерференционная измерительная система белого света Taylor&Hobson Talysurf CCI 2000
- Контактный профилометр модели 130, изготовитель завод «Протон-МИЭТ»
Фото оборудования
