Главная / Учёба / Лабораторные работы / Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии

УНЭ «Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии»

Руководитель

Павел Андреевич Юнин (к.238)

Краткое описание работы

Лабораторная работа посвящена исследованию морфологии реальных поверхностей. В рамках работы проводится измерение параметров шероховатости поверхностей полупроводниковых структур различной степени обработки. В качестве методов анализа используются оптическая интерференционная микроскопия белого света и контактная профилометрия. Оба метода позволяют получить прямую информацию о распределении высот точек поверхности. Для характеризации шероховатости поверхностей используется статистическое и фрактальное описание. Проводится сравнение двух экспериментальных методов исследования морфологии поверхности и двух подходов к описанию шероховатости.

Список оборудования

  • Оптическая интерференционная измерительная система белого света Taylor&Hobson Talysurf CCI 2000
  • Контактный профилометр модели 130, изготовитель завод «Протон-МИЭТ»

Фото оборудования