Апериодические многослойные рентгеновские зеркала
Руководитель
Характер работы
Экспериментальный и теоретический.
Описание
Апериодические зеркала — подкласс многослойных рентгенооптических элементов, структура которых представляет собой последовательность слоев двух и более материалов, с изменяющимися по определенному закону толщинами. Такая вариативность позволяет гибко настраивать профиль отражательной способности под конкретные задачи.
В рамках работы планируется расчет, синтез методом магнетронного напыления и изучение апериодических зеркал с полосой пропускания, повторяющей формы эмиссионных линий Si Lа (13,5 нм), Be Ka (11,4 нм) и B Ka (6,7нм), что представляет интерес для безмасочной рентгеновской нанолитографии.
Второй задачей является теоретическое и экспериментальное исследование возможностей апериодических многослойных зеркал по управлению спектральными, угловыми и временными характеристиками отраженных рентгеновских пучков, для чего требуется разработка алгоритма, позволяющего по заданным характеристикам зеркала рассчитывать рентгенооптические и временные характеристики отраженных импульсов рентгеновского излучения.
Контакты
ИФМ РАН к. 127, т. 417-94-85 (+127), garahins@ipm.sci-nnov…ru
