Развитие методик изготовления субмикронных по толщине металлических пленок и рентгенооптических элементов на их основе
Руководитель
Характер работы
Экспериментальный.
Описание
Работа имеет преимущественно экспериментальный характер и нацелена на совершенствование элементной базы оптики для спектральной области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения (длины волн от 1 нм до десятков нанометров). Единственным светосильным оптическим элементом в этой области спектра является зеркало с многослойным интерференционным покрытием, практическое использование которого зачастую возможно только в сочетании с работающим на пропускание металлическим пленочным фильтром, блокирующим фоновое излучение в УФ, видимом и ИК диапазонах. В ИФМ РАН многослойные пленочные фильтры толщиной 0.05 — 0.2 мкм изготавливаются с использованием метода магнетронного напыления. Тонкопленочные элементы перспективны также в качестве высокопрозрачных разделительных экранов для схем проекционной литографии ЭУФ диапазона, фазовращателей на пропускание, опорной поверхности для элементов дифракционной оптики.
Контакты
ИФМ РАН к. 123, т. 417-94-76 (+123), lopatin@ipmras.ru
