Развитие физических и технологических принципов синтеза многослойных зеркал

Руководитель

Владимир Николаевич Полковников

Характер работы

Экспериментальный.

Описание

Многослойные зеркала являются основой оптических схем приборов наблюдения для диагностики лабораторной и солнечной плазмы, проекционной литографии (технологии изготовления чипов микроэлектроники), рентгеновской микроскопии и многих других отраслей науки и техники. Научно-технический прогресс в этих областях взаимосвязан с качеством и свойствами изготавливаемых на практике зеркал. Поэтому остается актуальной задача совершенствования методов изготовления (синтеза) многослойных зеркал.

До сих пор и в мире, и в России (ИФМ РАН) наиболее распространенным методом синтеза многослойных структур является магнетронное распыление. Однако здесь уже достигнут предел возможностей улучшения характеристик зеркал. Дополнительные возможности открываются через применение альтернативных методик — сильноточного магнетронного распыления, ионной полировки, ионного ассистирования и ионно-пучкового распыления. Это и является сутью работы. В данном случае она в большей степени экспериментальная. Необходимая теория остается в рамках классической электродинамики.

Контакты

ИФМ РАН к. 127, т. 417-94-76 (+127), kiniokop@rambler.ru